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產(chǎn)品資料

SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器
產(chǎn)品型號: -
產(chǎn)品展商: SUNX
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器 傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、 下方四個方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。 尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm, SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器


SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器  的詳細介紹

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因此,對于使用單波長激光的傳感器,
可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。
實現(xiàn)0.5ms的*速反應(yīng)。兼顧*速反應(yīng)性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置檢測
利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,
通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
以往使用激光的激光式定位傳感器,

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激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員,十分危險。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì),
吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
檢測物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
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