概括松下晶固定位傳感器，選型神視傳感器
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圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下
電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m
重量 本體重量：約75g
耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的*阻表
耐振動(dòng) 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)
耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(調(diào)制式)
材質(zhì)纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m
12.5±5°注4)消耗電流 65mANPN輸出／PNP輸出　可由切換開關(guān)選擇
NPN開路集電極晶體管?流入電流：100mA
外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)
剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時(shí)) 0.4V以下(流入電流為16mA時(shí))
P丙烯 NP開路集電極晶體管
源電流：100mA
外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)
剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時(shí))
 0.4V以下(源電流為16mA時(shí))
輸出動(dòng)作 可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON
短路保護(hù) 裝備(自動(dòng)復(fù)位)
反應(yīng)時(shí)間 500μs以下
光面照明度1,500lx以下殼：ABS及SUS301、透鏡：
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm    外殼：ABS及S
US301、透鏡： 丙烯
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm
英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)
檢測(cè)角度 0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10?＋70℃
使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH
使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈
工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)

 概括松下晶固定位傳感器，選型神視傳感器