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產品資料

SUNX晶圓定位傳感器額定?**概要

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: SUNX晶圓定位傳感器額定?**概要
產品型號:
產品展商: 神視SUNX
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

SUNX晶圓定位傳感器額定?**概要 實現(xiàn)0.5ms的*速反應。兼顧*速反應性和*精度。 基于2段受光元件的*精度位置檢測 利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。M-DW1的受光部使用2段受光元件, 通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小 SUNX晶圓定位傳感器額定?**概要


SUNX晶圓定位傳感器額定?**概要  的詳細介紹

SUNX晶圓定位傳感器額定?**概要
安全性**的LED式
以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員,十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
安全性**的LED式
可從四個方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜??筛鶕?jù)傳感器的設置情況靈活調節(jié)。
可從四個方向引出電纜


內置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,質量約為75g的小巧、輕盈型。
亦可檢測玻璃晶圓
M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
亦可檢測玻璃晶圓
中心測量距離 45mm
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
可檢測涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質,吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的*速反應
。

SUNX晶圓定位傳感器額定?**概要

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