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產(chǎn)品資料

日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性

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產(chǎn)品名稱: 日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: SUNX
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簡單介紹

日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性 投光元件 LED(調制式) 材質 外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯 電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長300mm 電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m 日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性


日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性  的詳細介紹

日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性

產(chǎn)品樣本:

實現(xiàn)0.5ms的*速反應。兼顧*速反應性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置檢測
利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質,吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。

而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

結構圖:

中心測量距離 45mm
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下

日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性

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