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產品資料

*價格神視晶圓定位傳感器

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: *價格神視晶圓定位傳感器
產品型號: -
產品展商: 日本Panasonic松下
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

*價格神視晶圓定位傳感器 通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小 以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員,十分危險。 M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。


*價格神視晶圓定位傳感器  的詳細介紹
*價格神視晶圓定位傳感器
傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜。可根據傳感器的設置情況靈活調節(jié)
 尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,質量約為75g的小巧、輕盈型
中心測量距離 45mm
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
 輸出動作 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護 裝備(自動復位)
反應時間 500μs以下 檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)
穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈)
定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質,吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測
M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,
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