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SICK傳感器的主要原理及分類介紹資料大全
SICK傳感器主要是指半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器,是一種用金屬氧化物薄膜(例如:Sn02,ZnO Fe203,Ti02等)制成的阻抗器件,其電阻隨著氣體含量不同而變化。氣味分子在薄膜表面進行還原反應以引起傳感器傳導率的變化。為了消除氣味分子還必須發(fā)生一次氧化反應。傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧化反應進程。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度*、響應速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優(yōu)點。不足之處是必須工作于*溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數(shù)分散、穩(wěn)定性不夠理想、功率要求*。當探測氣體中混有硫化物時,容易中毒。現(xiàn)在除了傳統(tǒng)的SnO,Sn02和Fe203三大類外,又研究開發(fā)了一批新型材料,包括單一金屬氧化物材料、復合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開發(fā),大大提*了氣體傳感器的特性和應用范圍。另外,通過在半導體內(nèi)添加Pt,Pd,Ir等貴金屬能有效地提*元件的靈敏度和響應時間。它能降低被測氣體的化學吸附的活化能,因而可以提*其靈敏度和加快反應速度。催化劑不同,導致有利于不同的吸附試樣,從而具有選擇性。例如各種貴金屬對Sn02基半導體氣敏材料摻雜,Pt,Pd,Au提*對CH4的靈敏度,Ir降低對CH4的靈敏度;Pt,Au提*對H2的靈敏度,而Pd降低對H2的靈敏度。利用薄膜技術、超粒子薄膜技術制造的金屬氧化物氣體傳感器具有靈敏度*(可達10-9級)、一致性*、小型化、易集成等特點。
非SICK傳感器是MOS二極管式和結(jié)型二極管式以及場效應管式(MOSFET)傳感器。其電流或電壓隨著氣體含量而變化,主要檢測氫和硅燒氣等可燃性氣體。其中,SICK傳感器工作原理是揮發(fā)性有機化合物(VOC)與催化金屬(如鈕)接觸發(fā)生反應,反應產(chǎn)物擴散到MOSFET的柵極,改變了器件的**。通過分析器件**的變化而識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚可優(yōu)化靈敏度和選擇性,并可改變工作溫度。MOSFET氣體傳感器靈敏度*,但制作工藝比較復雜,成本*。
電化學型氣體傳感器
SICK傳感器可分為原電池式、可控電位電解式、電量式和離子電極式四種類型。原電池式SICK傳感器通過檢測電流來檢測氣體的體積分數(shù),市售的檢測缺氧的儀器幾乎都是電化學氧傳感器,近年來,又開發(fā)了檢測酸性氣體和毒性氣體的原電池式傳感器??煽仉娢浑娊馐絺鞲衅魇峭ㄟ^測量電解時流過的電流來檢測氣體的體積分數(shù),和原電池式不同的是,需要由外界施加特定電壓,除了能檢測CO,NO,N02,02,S02等氣體外,還能檢測血液中的氧體積分數(shù)。電量式氣體傳感器是通過被測氣體與電解質(zhì)反應產(chǎn)生的電流來檢測氣體的體積分數(shù)。離子電極式氣體傳感器出現(xiàn)得較早,通過測量離子極化電流來檢測氣體的體積分數(shù)已電化學式氣體傳感器主要的優(yōu)點是檢測氣體的靈敏度*、選擇性*。
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